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SVG 88 Series Track
詳細(xì)描述
SVG88 系列軌道的特點(diǎn)：
適用于75mm到150mm圓片的處理
G線、I線的光刻膠處理能力
多層式的熱處理結(jié)構(gòu)
高效能、高產(chǎn)能以及高可靠性。
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