咨詢
熱線
:021-50381269,0573-84983063
當(dāng)前位置：首頁 > 產(chǎn)品中心 > 襯底檢測(cè)分選機(jī)
ZJT2000全自動(dòng)高速基片檢測(cè)分選機(jī)
詳細(xì)描述
該設(shè)備用于 IC 及 LED 襯底片(基片)的質(zhì)量檢測(cè)。用來精密檢測(cè)襯底片的平整度、翹曲度以及厚度等指標(biāo)，并按照用戶設(shè)定的數(shù)值進(jìn)行自動(dòng)分選的設(shè)備。
|
片子尺寸 |
2inch--8inch |
|
特點(diǎn) |
用戶化設(shè)定， 全自動(dòng)，高精度，高效率。 |
|
片盒裝/卸模式 |
手動(dòng) |
|
測(cè)量項(xiàng)目 |
LTV <0.15um(重復(fù)性) |
|
TTV <0.15um(重復(fù)性) |
|
|
Thickness <0.1um(重復(fù)性) |
|
|
BOW <0.1um(重復(fù)性) |
|
|
warp <0.5um(重復(fù)性) |
|
|
C- Thickness <0.15um(重復(fù)性) |
|
|
TIR <0.15um(重復(fù)性) |
|
|
工作效率 |
>620 片/小時(shí)（2 英寸基片，2.5mm 陣列） |
|
>520 片/小時(shí)（4 英寸基片，5mm 陣列） |
|
|
>480 片/小時(shí)（6 英寸基片，10mm 陣列） |
|
|
檢測(cè)精度 |
<0.1um |
|
檢測(cè)方式 |
連續(xù)掃描 |
|
片盒數(shù)量 |
20 盒，10盒上片，10 盒分選下片(或根據(jù)用戶要求設(shè)置) |
|
安全模式 |
殘留片處理(檢測(cè)艙內(nèi).機(jī)械臂上.定心臺(tái)上) 片盒未裝提示 |
|
真空錯(cuò)誤 |
|
|
運(yùn)行過程位置、時(shí)序錯(cuò)誤 |
|
|
手動(dòng)緊急停止、暫停 |
|
|
鎖屏功能 報(bào)警 |
|
|
記錄查詢 |
|
|
操作方式： |
操作員、工程師、管理員 |
|
最小步距 |
<0.05mm |
|
檢測(cè)傳感器 |
德國 PRECITEC 公司光學(xué)傳感器檢測(cè)（長(zhǎng)壽命 LED 光源） |
|
邊緣要求 |
非接觸 |
|
校準(zhǔn) |
自動(dòng)校準(zhǔn) |
|
數(shù)據(jù)查詢 |
按批次、按日期查詢每個(gè)襯底片對(duì)應(yīng)的數(shù)據(jù)圖 |
|
每個(gè)襯底片的數(shù)據(jù)導(dǎo)出 excel 格式 |
相關(guān)產(chǎn)品
